入居者紹介(界面反応成長研究所)

企業名・団体名 界面反応成長研究所
居室番号

311号室

業種
代表者 大鉢 忠
電話番号 0774-63-2168
Fax番号 0774-63-2168
ホームページ http://www.ierl.jp(新規ウィンドウで表)
事業内容 プラズマ支援分子線エピタキシャルにより界面反応エピタキシャル法と活性度変調MEE法を用いてSi基板上に3.族窒化物半導体単結晶薄膜成長法を実用化する基礎研究を実施する。
商品・サービス ・Si基板上の3.族窒化物AIN,GaN,InNおよびこれらの混晶の単結晶薄膜
・Si基板上のAlInN/GaN界面を利用した高移動度HEMT電子デバイス
・Si基板上のAlInN/GaN界面を利用した量子井戸構造テラヘルツ電子デバイス
産学連携 同志社大学(電子系)

中小機構のインキュベーション事業

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