サポイン事業 活用支援のご案内
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7サポイン事業化成功事例❸株式会社ナノテム■住所:〒940-0021 新潟県長岡市城岡3丁目2-10■Tel:0258-22-6725■Fax:0258-22-6726■HP:http://www.nano-tem.com/index.html■資本金:125.50百万円■代表者:代表取締役 高田 篤【事業内容】セラミックス製品の製造販売、主に多孔質セラミックス応用製品(ポーラスチャック、浮上搬送ユニット、多孔質ダイヤモンド砥石、その他)の製造販売、受託加工、研磨装置の製造販売【主要取引先】サムスンモバイルディスプレイ系列メーカー、LGディスプレイ系列メーカー、㈱清和光学製作所、常陽工学㈱【採択プロジェクト名】平成18年度中小機構採択「吸着・浮上機能を付与した超大型・軽量多孔質セラミックス定盤の開発」【事業化成功製品及び特長、市場・用途】①超大型多孔質セラミックスチャック式定盤・2500×2200㎜の大きさの多孔質セラミックスを1枚の板で焼結し、石定盤に貼り付けして、超精密定盤を製品化した。・定盤上のパネル等の吸着・浮上特性を有し、大型液晶パネルの検査用定盤等に用いられる。②エアロフィックス(商品名)・超微細気孔を利用した吸着盤で、静圧を加えることで浮上機能も付与できる。・従来の吸着盤はサイズ限定であるのに対し、この吸着盤は、サイズに関係なくテーブルに置きさえすれば基板が固定できる。・平面パネル吸着盤等に用いられる。③サクションロール(商品名)・フイルムの完全非接触搬送用ロール。・従来のサクションロールの問題点である、吸着時の欠陥「サクションマーク」が皆無となった。・各種フィルムの搬送用ロール(印刷関連、ディスプレイ関連、フイルム関連、金属箔等向け等)として用いられる。【事業化までの経緯】(1)当初の想定顧客(市場)・理由(市場ニーズ)及び開発製品①研究開発に当たり想定した市場ニーズ等・平成18年度の時点で、薄型ディスプレイ産業においては、ガラス基板(薄型ディスプレイ)のマザーガラスの大きさがG8(2500×2200)に急速に大型化するとともに薄肉化し、市場規模も拡大の一歩をたどっていた。・この大型のガラス基板の位置合わせ、固定、搬送が、ガラス基板製造上の精度を保つ上での重要な技術で、ガラス基板製造装置の心臓部といえるベース定盤は、この精度維持と多機能化が必要不可欠となってきていた。・また、製造装置の大型化に伴い、その全体重量も1台で数十トンにも達しており、その軽量化・重量軽減も重要課題であった。・一方、当該研究開発前の時点では、多くの大型定盤は、天然石材から製造されていて、その入手はますます困難になってきており、また石定盤は穴付けや溝付吸着盤となっていて、吸着ムラ等によるガラス基板の製品歩留りが悪く、その改善が業界の急務の課題とされていた。②研究開発のテーマ設定、その技術内容等・長年研究していた多孔質セラミックスに関する研究成果が上記の定盤のニーズである位置合わせ、固定、搬送、軽量化に適用できると着想し、平成18年度の中小機構採択サポイン事業で、天然石材から人工素材である多孔質セラミックス材への転換と商品化に取り組んだ。・当該研究開発で目指した主な開発技術内容としては、以下があげられる。1)G8サイズ(2500X2200)クラスの大型化した多孔質セラミックスの焼結技術の開発2)軽量しても定盤強度が確保できるようなリブ構造の研究開発(有限要素法による研究等)3)低膨張化への対応 膨張による変形等を回避する為、主原料と助剤の配合等の検討4)高機能化への対応 40%以上の気孔を介在させ、圧縮空気や水等を通過させ、浮上や吸着の機能を確保する。5)環境配慮対応 焼結材料等の工夫により、多孔質セラミックス特有の発塵の発生をなくす。多孔質セラミックスベースプレートどこでも吸着(バネばかりテスト)サクションロール例

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