サポイン事業 活用支援のご案内
6/12

5サポイン事業化成功事例❷東北マイクロテック株式会社■住所:〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-40T-Biz203■Tel:022-398-6264■Fax:022-398-6265■HP:http://www.t-microtec.com■資本金:9.3百万円■代表者:代表取締役社長 元吉 真【事業内容】積層型三次元LSIを製造販売している。その中でシンクロトロン等に用いる素粒子及び電磁波の検出用イメージセンサは欧米の研究所などに供給している。微細積層型三次元技術を実現する装置とノウハウを基に、試作や受託生産を請け負っている。【主要取引先】国内大手半導体企業(2社)、国内外国立研究機関(4機関)、国内センサ企業(2社)、海外装置メーカー(1社)、他【採択プロジェクト名】平成18年度中小機構採択「5 μmピッチ以下の貫通配線を使った積層LSIデバイス実装技術」【事業化成功製品及び特徴】(1)事業化成功製品(下図写真) 積層型三次元LSI、Siインターポーザ(2)製品の特長、顧客(市場、用途)・イメージセンサに応用した場合には、原理的に表面全体をセンサに使用できることから高感度のものを得られる。また、5 μmという微細な間隔でセンサと回路を接続できるので高解像度とすることが可能となる。一方、積層した素子間の配線長が短縮でき浮遊容量を減らせることから高速度演算に適したLSI回路が可能となる。・この特徴を生かしたイメージセンサは高エネルギー物理学(素粒子物理学)においてシンクロトロンなどの加速器のX線や素粒子の検出に用いられている。また、LSI素子本来の高速性を損なうことなく三次元方向に集積できることから、電子機器を扱う企業で画像処理、計算処理や制御に用いる多機能高性能素子の試作や受託生産に適している。【事業化までの経緯】(1)当初の想定顧客(市場)と製品及びその理由(市場ニーズ)・初めはDRAM(コンピュータ用記憶素子)市場を狙い、薄微細貫通配線の開発を目指した。DRAMは生産規模が大きく、集積度向上の市場要求が大きく、一方で微細化に頼るだけの大容量化は二次元のままでは構造上で限界が近いと考えていた。・事業化成功技術又は製品 開発技術を応用したセンサやSoC(System on Chip : 多機能をまとめた素子)のような異なるチップを積層する三次元LSIを事業化した。 言い換えればDRAMのような単純構造の素子でなく開発技術の微細貫通配線及びマイクロバンプを使った積層型三次元技術に依らないと製作困難な素子に転換した。(2)事業化達成の障壁と具体的な打開方法①事業化達成の障壁となったもの・当初ターゲットと考えたDRAMの積層への適用は

元のページ  ../index.html#6

このブックを見る