研究開発成果集(事業期間 平成18年度~平成20年度)
8/56

5 ガラス光学素子成形の信頼性向上 ならびに製造技術革新 プロジェクト参画研究機関 国立大学法人大阪大学、公立大学法人滋賀県立大学、三津江金型株式会社、株式会社武内製作所 事業管理者 財団法人大阪産業振興機構 ■研究開発の背景・目的 ガラス光学素子に対する要求は、形状や光学特有の保証(信頼性の向上)と、複合機能化の実現である。そこで、シミュレーションとそれを正確に再現する成形システムの確立、及び、易切削性皮膜を中心とした微細構造形成技術の開発を目指した。 ■研究成果の目標 ①モールドプレス成形後のガラス製非球面レンズの不良率を半減させること。 ②モールドプレス成形後のガラス光学素子の屈折率予測を可能にすること。 ③複合構造を有するガラス光学素子のモールドプレス成形が可能であること ■研究成果の概要 成形後の屈折率のばらつきについては、同一冷却速度では、0.0005、形状精度に関しては、0.2μm以下であった。また、ガラスの仮想温度をシミュレーションする技術を確立することで、達成できた。 複合機能素子作製のための新しい金型製造技術に関しては、厚膜に振動切削を行うことで、1μm深さの溝形状を5μmピッチで形成することができた。 ■研究成果の活用 信頼性向上技術は、様々なガラス製レンズの生産歩留まりの向上に資することになる。また、易切削皮膜による新しい製造手法は、DOE(Diffractive Optical Element)など、ガラス製複合機能素子の生産を可能にする技術である。 図1 冷却速度をコントロールする成形システム 図2 易切削性皮膜の微細加工形状 図3 5ミクロンピッチで加工された微細溝形状 PCYAG laserlenslenspinholeλ/4 platebeam splitterCCD1He-Nelaserillumination2D-PSDoutput xoutput yobjective2-axisAODTrapping laserDetecting laserhalf mirrorfilterhalf mirrorMicroscopic imageProbesphere8mWorkobjectiveCCD2xyzstagexzyPCYAG laserlenslenspinholeλ/4 platebeam splitterCCD1He-Nelaserillumination2D-PSDoutput xoutput yobjective2-axisAODTrapping laserDetecting laserhalf mirrorfilterhalf mirrorMicroscopic imageProbesphere8mWorkobjectiveCCD2xyzstagexzy 図4 ナノ形状&微細構造を計測するナノCMMプローブ

元のページ  ../index.html#8

このブックを見る