研究開発成果集(事業期間 平成18年度~平成20年度)
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18年度採択 18年度採択 52 【事業管理者】 JFEテクノリサーチ株式会社 ◎担当者:水野 健一郎 ◎所在地:〒103-0027 東京都中央区日本橋二丁目1番10号 ◎TEL:03-3510-3393 ◎FAX:03-3510-3476 ◎E-mail:mizuno@jfe-tec.co.jp ◎URL:http://www.jfe-tec.co.jp/ この研究への お問い合わせ 契約期間:平成18年度~平成20年度 技術区分:真空の維持 管理番号:18-05 ■研究成果の活用 半導体製造装置の石英ガラスなどのパーツにイットリアコートを使用することで、耐食性が向上し寿命が2~数十倍に延びる。さらにアルカリ金属やパーティクルの発生を抑制する。開発した大型CVDシステムは、300mm用半導体製造装置のパーツ処理が可能である。図5は、イットリアコートされたドライエッチング装置用フォーカスリングである。 ■事業化へ向けた取り組み状況 ■事業化の目標 ① 事業化の為の課題等 イットリアコート処理によって、装置部品の寿命がのびるため、ユーザー評価が出るまでに時間が掛かる。また、川下ユーザーによって、使用する半導体製造装置の種類が異なり、さまざまな形状のパーツに対応していく必要がある。 ② 事業化のスケジュール 事業化への第一段階として、テクノクオーツ㈱の販売ネットワークを活用して、既存製品(石英部品)にイットリア膜をコーティングした製品(図6)の事業化を推進する。最初に、監視窓等の本技術の優位性が顕著な製品に関して販売を行うことによって、イットリア成膜部品の装置メーカーやデバイスメーカーへの実績をつくる。 川下ユーザーのニーズをタイムリーに収集できる体制を構築する必要がある。パーツの形状や使用環境はさまざまであり、単に営業担当が注文を取るのでは川下ユーザーの要望に沿った性能を提供できない。よって、今後も継続してユーザーとプロジェクトメンバーが技術的な交流を密にすることでニーズにあった製品を提供できるように、技術担当者が顧客への訪問を積極的に行う。(図7) 図6 イットリアコート石英ウィンドウ 図7 イットリアコーティング事業化体制 図5 イットリアコートされた300mm用フォーカスリング

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