研究開発成果集(事業期間 平成18年度~平成20年度)
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18年度採択 18年度採択 30 【事業管理者】 財団法人金属系材料研究開発センター ◎担当者:伊藤 瑛二 ◎所在地:〒105-0003 東京都港区西新橋1-5-11 第11東洋海事ビル6階 ◎TEL:03-3592-1283 ◎FAX:03-3592-1285 ◎E-mail:eitou@sepia.ocn.ne.jp ◎URL:http://www.jrcm.or.jp/ この研究への お問い合わせ 契約期間:平成18年度~平成20年度 技術区分:位置決め 管理番号:18-08 図3 多孔質セラミックス定盤の3領域分けパターン 真空ポート第3領域 真空ポート第2領域 真空ポート第1領域 真空ポート全領域 図3はG8サイズの真空チャックの領域分け外観写真である。G8サイズの吸着盤において、最終目標であった一枚板の多孔質セラミックスにおいて、3領域の吸着部を有した吸着テーブルが製作できた。 ■研究成果の活用 既存液晶装置に使用されている石定盤もしくは金属定盤に対し、30から50%の重量減。 装置心臓部の定盤の軽量化によって、装置の骨格強度が低減できる。XYステージ等のリニアガイド並びにボールねじの許容荷重の低減が可能。 機能面では、真空吸着・浮上搬送が定盤上で可能になり、歩留まりと生産効率が数10%改善できる。 ■事業化へ向けた取り組み状況 事業終了時には、ターゲットである液晶製造装置メーカの計画が不透明であったが、今現在は、展示会等でのプレゼンによって、製造装置改造並びに新規設備への多孔質セラミックス導入の案件が多数出てきた。 実機での多孔質セラミックス真空チャックの性能・機能評価を実施し、来年度(平成22年度)から事業化に向けた取り組みが可能。 製造設備・量産設備・品質管理システム・評価方法を現在検討している。 ㈱ナノテムは超大型多孔質セラミックスを焼成加工し、それを利用して㈱大菱計器製作所で組立・精度調整を行い、事業化を目指す。 現在、具体的な案件が、明示されており、一案件ずつ川下ユーザーのニーズにしたがって、実施成果を積み上げていく予定。平成22年度第2四半期の売上計上を目指す。

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